均勻地在已經氧化好的晶圓上，塗上光刻膠，機器開始工作，DUV被激發，然後通過掩膜落在了晶圓之上。 　　程銘作為老司機，清楚地看到這個機器其實用的還是多重曝光技術。 　　DUV的分辨率僅能達到38nm的檔次，要用其刻出14nm乃至7nm的寬就得用到多重曝光。 　　紫外光通過掩膜進行第一次曝光，在用沉積讓其加寬加粗，再進行第二次曝光，這樣就得到了雙重密度的圖像。 　　這種方式其實不算太機密，機密的是實現的工藝手法，而路芒這臺機器實現的工藝似乎和目前流傳的都不太一樣。 　　在當前工藝下，光刻機可以在極短的時間內對晶進行了四次曝光。 　　也就是這和其他廠商完全不同的曝光技術保證了其在14nm時擁有相當好的光刻精度。 　　甚至可以想辦法做到5nm！ 　　整個光刻過程是很快的，雖然因為多重曝光，比單次曝光的時長多了一些，但也就五分鐘，整個光刻就結束了。 　　光刻僅僅是將電路設計圖刻在了光刻膠上，清洗完之後就可以進行蝕刻了。 　　蝕刻完，這些電路圖才算是正式來到了晶圓上。 　　下一步便是注入離子在晶圓表麵形成數以億計的晶體管。 　　後麵還得經過熱處理，經過鍍銅，最後將晶體管全部連接起來，這塊芯片才算是初步完成。 　　一直到了晚上八點鐘，程銘終於呼出了一口氣，從工作狀態中脫離了出來。 　　而在他手上的正式一塊已經被切下來已經完成了封裝的芯片。 　　他帶過來的電路設計圖，是正兒八經的14nm製程，算是目前夏國攻克14nm穩定產出後就準備上馬的芯片項目。 　　他本來是覺得，按照目前的科研速度，至少也得等個一兩年，他手上的設計圖才有被用上的可能。 　　沒想到的是，今天，他竟然就拿到了這份設計圖做出的成品，這就和在做夢一樣。 　　拿著這塊芯片，他狠狠揪了一下自己的胳膊，直到感覺到了疼痛感才讓他有些真實感。 　　“程教授，你出去吃點東西吧，一天沒吃飯了。”路芒再次從實驗室外麵走了進來，有些擔心地對著程銘說道。 　　要是知道麵前這個快要六十的老人，工作起來這麼不要命，他都不想把他帶進來了。 　　一整天對著控製臺，就沒有離開過廠房，一會操作光刻機，一會操作後麵的蝕刻，路芒每次進來，這位都在忙碌著。 　　讓他去吃飯，也是被他直接轟了出去。 　　“好啊，是該吃飯了！” 　　本以為這次程銘也不會答應的路芒，卻是聽到了程銘的回答聲。 　　路芒一看，這程銘正拿著一小塊立方體，滿麵笑容。 　　腦筋一轉，大概明白應該是成功了。 　　他臉上也露出了欣喜的笑容，這臺光刻機雖然是他親手搭起來的，腦子裡的知識也告訴他，這玩意絕對能輕鬆駕馭14nm。 　　但畢竟沒有經過實戰考驗，今天程銘在做的時候，他心裡也在不停打鼓。 　　就怕這臺光刻機達不到說明等級，要是這臺光刻機達不到說明等級，那也就意味著光刻工廠可能也懸。 　　縱然是係統出品，但路芒仍然是止不住地擔心，這也算是人之常情。 　　程銘搖搖頭：“還不清楚，雖然做是做出來了，但是還沒有經過測試，不太清楚這塊芯片是不是能正常使用。” 　　“我們去吃飯吧，我請你，我有一個想法，我們邊吃邊說。” 　　程銘將這塊芯片用靜電袋裝了起來，又用緩沖袋裝了起來，放進小盒子裡，最後才塞進了自己的手提袋裡。 　　這才算放心。 　　隨後就夾著手提袋，招呼著路芒出去吃飯。 　　時間已經不早了，附近本來就是荒郊野外，食堂的廚師早就回家了。 　　讓他留著的飯菜也冷了。 　　附近唯一一家餐館在五公裡外，而且這個點人家也已經關門停止營業了。 　　路芒索性開出了自己的小五菱，馱著程銘，就進了城裡。 　　兩人隨便找了一家看起來比較清凈的麵館，就坐了下來。 　　麵館的東西上的比較快，不過幾分鐘，兩碗麵就被端了上來。 　　程銘拿起一次性筷子，掰開就先夾了一大塊塞進了嘴裡，顯然是今天餓急了。 　　等到把麵咽下去後，才舒了口氣，對著路芒說道：“路老師，我有一個想法。” 　　“之前，我是覺得你的光刻廠成功率很高，所以想著是趕緊將項目推上去。” 　　路芒點點頭，這方麵程銘之前就已經和他說過了。 　　“不過今天我覺得我們的策略應該變一變。” 　　路芒皺起了眉頭，找書苑 www.zhａoshuｙｕａn.com心想，程教授這個意思難道是覺得自己這個DUV光刻機還有發展前景，要先停光刻廠項目？ 　　這和他的的初衷可就完全不一樣了！ 　　再說他很清楚這個光刻機極限就是7nm，用來製作5nm芯片完全是得不償失。 　　程銘見路芒沒有反應，抬頭看了一下，就看見路芒嚴肅的表情，他立刻明白了，麵前這個年輕人誤會了！ 　　“路老師，你別誤會！” 　　“我的意思不是停止光刻廠的建造。” 　　“而是光刻廠建造是需要時間的，就算綠燈全開，整個廠子建起來沒有四五年年也很難完成。” 　　這一點路芒倒是有不同意見，畢竟他已經有了整套工廠設計圖，再加上全能工廠還能建造建築模塊。 　　隻要項目開始推進，頂多一年的時間，整個光刻廠項目就能完成落地。 　　不過，路芒想看看程銘要說什麼，所以並沒有打斷？ 　　“我的想法是將路老師的光刻機擺在光刻項目計劃的明麵上。” 　　“路老師應該也知道，對麵對我們的技術封鎖是很嚴厲的，但同時他們也非常擔心我們自己突破技術壁壘。” 　　“假如，我們透出自己已經有製造EUV光刻機的能力……” 　　程銘看著路芒。 　　路芒也明白了，這是要迫使對麵放開光刻機限製來減弱夏國的自研決心。 　　有現成的，你又何必去自己研發呢。 　　“有一個問題，我的並不是EUV啊。” 　　程銘笑了笑：“是啊，但是誰知道呢？”