184科技桂冠技術難 　　夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家專攻光刻機和高端芯片的企業，由夏為公司和鴻盛公司抽調精兵強將組建的。 　　董事長由夏為尹總擔當，王守柱和王媛為副董事長，餘向東為CE0，張沖誌為隱形技術總監。 　　光刻機的設計已由張沖誌借助黑星，並且融合蘭斯麥和尼康的技術，優化後設計出來。 　　芯片生產線也由張沖誌結合長島國、東羅馬國、新陸國等最先進的技術，優化改進後設計出來。 　　其中許多關鍵設備都由軒轅鴻盛集團製造出來，這條生產線一旦建設完成，將成為世界上最先進的生產線，沒有之一，是超越葉積電的存在。 　　這接近一年的時間裡，整個夏盛麒麟公司的所有員工在研究各種材料，不停地試錯，爭取尋找到一種材料，加工成零部件，裝配到光刻機上，使光刻機發揮出設計的功能來。 　　公司同時研發製造三臺光刻機。 　　現在購買一臺蘭斯麥超浸潤光刻機是1.5億新元以上，而夏盛麒麟公司的研發費用是它的許多倍。 　　即使有張沖誌的設計和鴻盛集團強悍的零件加工能力，每臺研發費用也最少在4億新元以上。 　　再加上芯片生產線，夏盛麒麟公司這段時間已吞金200億玄元以上，外界卻沒有聽到一點響動。 　　雖然有些視頻、報紙不時出個“標題黨”，忽悠一下大眾，內容全是撲風捉影，引不起什麼動靜來。 　　三臺光刻機的加工精度當時是2納米，可是在製作過程中，夏盛公司發現這個難度太大，於是就降低了一下標準，計劃先製造生產5納米芯片的光刻機。 　　現在各項工作已完成95%，隻剩餘5%沒有完成，但是就這5%才是這光刻機的核心所在，體現了科技製造水平的高低。 　　就象你將一門大炮全部都造好了，最後發現無法造出大炮發射拴，那這門大炮也就失去了作用。 　　張沖誌進了夏盛公司，換好無塵服直接去了三臺光刻機的組裝車間，兜裡裝著黑星。 　　這個裝配車間是在地下，為恒溫無塵車間，由於沒有最後完成，所以外殼沒有按裝上，裸露著各種導線和零件。 　　但沒有實驗裡那樣粗糙的工藝，所有的零件看上去亂中有序，當你再仔細觀察時，就會有種精美藝術品的感覺。 　　你會發現所有能利用的空間都被利用起來，每一根細線都在它應該在的位置上，這就是經過優化後的設計，那怕是裸露著，也給人一種美感。 　　光刻機包含著13個分係統，3萬多個機械體，200多個傳感器，要想保證光刻機正常運行，每一步的準確率必須達到99.99%以上，尺寸的調整要達到百萬次以上。 　　蘭斯麥每年隻能生產20臺，每一臺都被人虎視眈眈的訂著。 　　超浸潤光刻機的光源波長為13.5納米，被稱為極紫外光源，經過收集後的功率為250w。 　　該光源產生的二氧化碳激光，要求必須精準打擊到由發射裝置發射出每秒高達50萬滴的純錫滴靶上麵。 　　每一滴錫滴靶的直徑為30微米，錫滴被蒸發後還不能汙染反光鏡。 　　鏡頭是光刻機的第二難點，由於超浸潤極紫外光線太短，除了被空氣吸收還會被玻璃吸收，所以采用反光鏡。 　　鏡麵采用鉬和矽製成的特殊膜，鍍到反光鏡的鏡麵才有效果，這些鏡麵凸起幅度不能超過0.3納米，而鏡麵的直徑是30厘米。 　　整個鏡頭采用布拉格反射器，但是每經過一次反射，極紫光的強度就要損失十分之三的能量。 　　而蘭斯麥的光刻機中有11個反光鏡，也就是說光源要經過11次反射後才能到達晶圓，在晶圓上刻線，最終僅能剩餘2%的光線能量，所以對光源發射功率要求較大。 　　研發難點第三是掩膜臺。掩膜臺的作用就是承載掩膜板運動的部件，它的運動是納米級別的，運動精度在2納米左右，要用什麼樣的控製設備才能使掩膜臺的運動控製在2納米以內，這就需要精加工的支持。 　　現在隻有鏡頭和掩膜臺難以達到要求，通過測算良品率太低，難以形成規模性量產，而且隻是勉強達到5納米。 　　張沖誌與各項目組專家一臺臺看過去，隨著他的提問，相關專家介紹該處零都件的生產工藝，所使用到的材料，到最後達到的性能。 　　其實這三臺光刻機都是采用夏盛公司現在所能找到的最好材料和設備製造的，基本就不計成本。 　　在張沖誌的研討過程中，黑星的十二根探索絲上下飛舞，將每臺光刻機的零部件按裝置尺寸全掃描下來，並同時形成納米級的3D立體圖，它現在的性能比一年前又強悍了許多，掃描測量尺寸達到1納米。 　　張沖誌的研討時間與黑星的掃描時間相配合，三臺光刻機用了一個多小時研討完成，在走向會議室的路上，黑星就將三臺光刻機的評估結果給作了出來。 　　中間那臺質量最好，可以支持2納米芯片的光刻機，其它兩臺隻能達到5納米的光刻機精度了，看來夏盛公司的裝配工藝還有待提高。 　　最好的方法是采用智能自動化裝配，可現在還難以達到。 　　在會議室中，張沖誌又聽取了一些各方麵專家的意見，大部分人都臉上露出愁容。 　　光刻機的確是工業上的明珠，集各項最高技術於一身，一項加工技術或材料不到位，就影響到整臺光刻機的製造，真是牽一而發動全身。 　　坐在主位上，與CE0餘向東對視了一眼，餘向東大聲說道：“請大家安靜下來，下麵請張總監談一下看法。大家鼓掌！” 　　下麵響起雷鳴般的掌聲，張沖誌在這些人的心中已有超然的地位。 　　“各位領導，各位專家好，通過現場查看和與各位的交流，我很佩服大家。 　　特別是朱宇教授領導的雙工作平臺研發，在這十個月內竟將掩膜臺的移動從1.5納米，減少到標準的1納米，這是一個重大的進步，為我們的光刻機加工精度達到2納米，找書苑 ｗww.zｈaoｓｈｕyuaｎ．coｍ 甚至1納米打下了堅實的基礎。” 　　說完他帶頭鼓起掌來，下麵也響起雷鳴般的掌聲。朱宇教授的臉上也發起光來。 　　張沖誌接著說：“我們現在已經完成了95%以上的工作，這餘下的5%我有信心在半月內走完。 　　另外我根據現場勘查，我想將原來定的目標稍微改動一下，將原來三臺光刻機的加工精度都是5納米，改為中間一臺加工精度為2納米，兩邊兩臺保持5納米。” 　　他這話一說完，下邊應刻“轟”地一下象爆炸了一樣。 　　幾乎所有人的臉上都露出難以置信的樣子。 　　自己這些人還在擔心5納米光刻機能不能造出來，他竟然要造2納米的，這可能嗎？ 　　張沖誌等下麵的人平靜了一下，他將手掌壓了壓，會場恢復了平靜，他接著說：“我為什麼要將中間這臺光刻機改為2納米，因為它的裝配工藝最好，而且使用朱宇教授的1納米雙加工平臺，隻加工5納米的芯片太浪費了。 　　我們現在最大問題，是對於鏡頭的加工製造，我將帶領鏡頭團隊的人在10天內解決，同時，在2納米反射鏡中將采用0.55NA的材料。 　　我們整個公司自成立以來，各位都在默默地奉獻，我們就要做一件轟動世界的大事，我們要讓光刻機成為夏盛麒麟公司的驕傲，開創我們軒轅電子工業的新篇章。 　　但是，今天這次會議事關重大，任何人不得向外泄露一個字，公司會選擇適當的時候公布！” 　　每日穩定更新4000+，求支持、收藏、推薦！！