185光刻機終成 　　會議結束後，張沖誌來到餘向東經理的辦公室，餘向東驚喜的問張沖誌：“張總監真能生產反射鏡片？它的難度太大了！” 　　張沖誌說：“5納米的反射境片我在春節後就造好了，等我再精磨以下，讓公司鍍上鉬和矽反射膜就可以使用了。 　　不過對於鉬矽反射膜我可以再優化一下，可以減少10%的對極紫外光線的吸收，這樣我們研發的二氧化碳激光光源，隻要能達到110W功率，就綽綽有餘了！這樣還可以節約三分之一的光源製造成本。” 　　餘向東一下抱住他說：“你真是神人也！夏盛要為你記一大功！國家要給你記一大功！那我們為什麼不全部生產2納米光刻機？” 　　張沖誌說：“主要是那兩臺光刻機已達不到2納米的要求了，再者我們的XS9000芯片性能優異，還不到淘狀的時候。 　　我們2納米的芯片是一枚核彈，隻有關鍵時刻將它點燃才能發揮巨大的作用，這裡麵不僅有經濟作用，更有政治作用！這事你有時間向尹總說一說，我這就去忙了。” 　　說完轉身向往就走，就知他剛一出門，就被笑瞇瞇的尹總堵住了。 　　張沖誌忙叫：“尹總好！你怎麼來了？” 　　尹總邊推著他重新進屋，邊說道:“你是不是對小娜做了什麼事，想躲我是不？回來也不向我匯報情況。” 　　張沖誌馬上一頭黑線，他忙說：“尹總我隻是替你去看了一下小娜，她很好，將你的問候送到我就走了。” 　　尹總滿臉不信，他說：“小娜三天前回來了，一見我別的不問先打聽你的事，而且不停將你的名字掛在嘴邊，說你如何厲害。 　　我這七八十歲老頭子的身體一點也不關心一下，想來我就氣，正好找你問問。你老實交待，不可隱瞞！” 　　嘴角抽了兩抽，尊重長輩是軒轅美德，張沖誌隻好將大體的經過又說了一遍，尹總聽完點了點頭，這才放過他。 　　餘向東和張沖誌又將剛才的話向尹總匯報了一遍，讓尹總非常高興：“我們夏為這架破機器已經快完全修復好了，當換上心臟(芯片)時，一定竄的更高，一覽眾山小的感覺令人期待啊！” 　　張沖誌將優化好的技術拿了出來，繞過專利壁壘，就帶領攻關小組開始工作。 　　反射鏡的鏡麵加工精度要求是0.3納米，而一個原子的大小接近0.1納米，也就是說加工層要在三到四層原子之內。 　　現在真沒有什麼機械的加工精度達到這樣的精度，利用精密機械加工到一定精度後，可以再利用精磨人工打磨，不過失敗率很高，因此一年蘭斯麥超浸潤光刻機隻能生產幾十臺，這個難度實在是高。 　　據說蘭斯麥的鏡片生產公司是蔡司公司，而蔡司生產鏡片的人是一個家族，三代都靠這門手藝吃飯，他們吃完飯後的工作就是磨各種鏡麵。 　　這個工作對張沖誌來說雖說有點難度，但還在他的控製精度之內。 　　另外他還有黑星，黑星利用探索絲可以上下左右每時每刻測繪鏡麵的尺寸。 　　現在世界上最高的測繪記錄是由長島國的冷凍電鏡創造的，可以達到0.02納米的尺度。 　　現在黑星的探索絲通過這臺冷凍電子通道顯微鏡的校準，測量精度已在0.01納米，這一精度與原子核尺寸相比還差的遠，還有三個數量級。 　　而且黑星可以通過立體放大，將三十厘米大小的鏡麵放大到上千平方米大小，張沖誌相信可以通過黑星，通過一定的練習，精準控製自己的力度。 　　他全身機能所能達到的準確率是蔡司公司老師傅的十倍以上，足可生產出更精密的鏡片。 　　由於張沖誌的神經反應速度超過人類的40倍，這讓他的手法快速，他與黑星待在一個密閉的恒溫恒濕無塵的千平大房間內，用了一天的時間。 　　最後完成了十五套165塊5納米光刻機所用的鏡片，也就是布拉格反射器，當然也出了五套廢品。 　　這套加工手法與超級福崗的光感器加工工藝差不多。 　　而2納米以後的超級浸潤式設備與5納米的不一樣，5納米是采用NA=0.33的曝光設備。 　　2納米需要高解析度的曝光設備，更高的NA化，即NA=0.55（NA是數值孔徑，與最大的臨界角度有關）。 　　張沖誌又利用一晚上的時間生產了十二套2納米反射鏡片，不過合格的隻有七套，廢了五套，對於一般人來說，可能合格率達不到百分之一。 　　NA=0.55的曝光設備，蘭斯麥已有設計，不過技術要求太高，需要幾年後才能生產出來，張沖誌隻是將它優化了一下，直接拿來用了，還美其名曰先用先得。 　　第二天，張沖誌就先拿了兩套報廢的鏡片，讓攻關小組進行鍍鉬矽膜實驗，測試能夠達到的效果。 　　這種膜經過改良後，真將光能的吸吸率降低了10%，讓攻關小組一陣歡騰，因為這可是與獎金掛勾的。 　　利用兩天時間將15套5納米鏡片鍍好膜，又用一天時間將7套2納米光刻機用鏡片也鍍好膜，就開始了超浸潤設備的全機體製造。 　　張沖誌邊製作邊指導說解，這些人是他培養的高端光刻機裝配人員，為以後大批量生產高端光刻機做準備，當然好讓自己偷懶！ 　　他自己動手裝配了一套5納米光刻機，一套2納米光刻機，第三套就交給工作人員裝配去了，他在旁邊指導。 　　隻要鏡片不毀，其它各種角度的微調讓裝配人員去摸索吧！ 　　時間又過去了三天，8月14日，張沖誌帶領光刻機工作團隊進行最後的安裝調試，所有設備都檢查了一遍，各部門都報告沒有問題。 　　張沖誌讓人打開電源，一盞盞指示燈亮起，找書苑 www.zhaoshuyuan.com 主控計算機開始檢索，計算機裝載鴻盛天機自動控製係統，所有頁麵都是玄語，讓人一看就明白，當然是學玄語的人。 　　計算機檢測完成，發出了讓所有人都高興的“滴”的一聲，真是聲音清晰響亮，是天籟之音。 　　接下來就是進行一項項測試；雙工作臺、測量臺、曝光臺等運轉正常，極紫外激光器發光正常，超浸潤係統工作正常。 　　光束矯正器工作正常，光束形狀設置正常，掩膜臺工作正常，物鏡工作正常…… 　　13個分項，數萬個零件，重達五百噸的工業明珠運行正常！ 　　接著開始整體空載運行，正常後開始正式加工，也叫載物運行。 　　就見一張18英寸，直徑450mm的單晶矽矽圓被放在了雙工作臺上，接著開始矽片表麵清洗、烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序，這個過程需經過多次。 　　一張越復雜的芯片，它的線路層數越多，越需要精密復雜，越繁鎖的曝光控製過程。 　　當一張450毫米直徑的晶圓上布滿了密密規則的芯片，終於出現在眾人的手上時，許多人都喜極而泣。 　　張沖誌的眼中也貯滿淚花，終於，終於，夏盛麒麟公司生產出了高精度的超浸潤光刻機，軒轅無高端“芯片”的歷史一去不復返了！ 　　尹總和餘向東，王守柱、王媛四人帶著兩張密布芯片的矽圓芯盤，直奔京都而去。 　　張沖誌堅決不去，太麻煩了！ 　　每日穩定更新4000+，求支持、收藏、推薦！！