三月份的第二天,申城下了一場淅淅瀝瀝的小雨。
春節的氣息猶在,元宵還沒到來,氣溫一到晚上也不過就是四五度,又有冷風細雨撲在臉上,難免讓人感到寒意。
但張汝京絲毫沒有這樣的感覺,他匆匆的從一間會議室走進另一間會議室,心裡轉著的都是當前的狀況,既有行業大環境所麵臨的問題,也有眼前碰見的現實問題。
砰!
門被一把推開,冰涼的空氣卷進辦公室讓眾人不自覺的都皺了皺眉。
張汝京大步走進來,嗓子有些嘶啞的問道:“怎麼樣了?現在商討的怎麼樣?”
沒人回答,隻有重新彌漫起來的二手煙。
張汝京到了辦公桌邊也不坐,直接一手按桌,傾著身子的再次說道:“又不是讓你們去乾EUV光刻膠,也不是立即把ArF搞好,一邊搞,一邊建,這就這麼為難?”
他這次來申城主要就是為了ArF光刻膠研發的事情,如同他自己之前在琴島搞的大矽片一樣,高端光刻膠也是國內比較欠缺的一環。
雖說如今還沒波及到這個,但冰芯上了名單,後續極可能會被追加更嚴厲的措施。
芯材公司是由大基金、冰芯、南大光電、芯刻微材料等公司聯合成立的技術研究公司,主要目標就是取得ArF光刻膠的突破。
隻是,但凡需要突破的東西都有難度,ArF光刻膠在EVU方案還沒落地商用的情況下就是最高端的精密化學材料,國內這方麵的廠商目前都沒什麼苗頭。
芯材是2012年成立,彼時也費了不少功夫,這個環節的公司們本身存在競爭關係,聯合研發存在著利益分配的問題。
張汝京這一趟來之前問了問相關情況,從負責晶圓製造聯盟工作的秘書長那邊得知,當時是冰芯態度有一點點強硬的推動了這個合作。
冰芯在內地半導體行業裡有著相當大的主導權,這既是它本身的技術水平,也是晶圓製造聯盟在金融危機後做了不少整合的幫忙。
不管南大光電還是芯刻微材料,它們在內地都繞不開冰芯。
再加上,方總2011年7月份進行了事實上的部分的“同氣連枝”整合,冰芯加上中芯更是內地半導體公司繞不開的存在了。
基於這種情況才有了“芯材”的誕生。
從2012年到2015年的現在,芯材專注於ArF光刻膠的研究,進度上嘛,還算可以,多次進行了小規模試驗,調整的配方比例也在光化學反應性能上有明顯的提升。
隻是,這種提升還達不到理想的狀態,等到走出實驗室,擴大到中試規模,工藝流程的工業化適應性評估就出現了問題。
這便沒法大腳步的再往下走,況且,後麵也有不少關隘,要搞長時間存儲穩定性和批次間一致性測試,要做晶圓廠兼容性驗證,必須得確保光刻膠和冰芯的生產工藝無縫對接,還得做大量重復性與可靠性測試。
如此這些,最後還要建立穩定的生產工藝,保證大規模生產的每一批次的光刻膠性能一致。
“芯材走在了正確的路上。”
這是來自晶圓製造聯盟的評價。
可惜,眼下的局麵略顯急迫。